安全登录
登录后，系统只显示贵司已授权的参数模块。
首次登录，请修改密码
新密码须为14至128位，同时包含大写字母、小写字母、数字和符号；不能包含登录账号，也不能与当前密码相同。当前临时密码请使用最近一次重置后的密码。
当前授权
正在读取授权……
稳态每次占1个计算单位；DOE按设计点数、瞬态按帧数占用。失败或取消后释放预占。每日提交保护限制另计。授权调整后请刷新页面。1配置参数填写当前授权模块
2提交计算任务进入安全队列
3查看结果本地计算节点返回
已授权功能
任务状态等待提交
—
去除率统计 [nm/min]
数值有效性
任务完成后显示。仿真结果仅用于工程筛查，仍需客户实验验证与质量体系复核。
DOE 结果
| 实验号 | 因子（输入单位） | 平均去除率 [nm/min] | 片内不均匀性 [%] | 工件Ra [nm] | 状态 |
|---|
瞬态序列
授权云图
保存本次返回结果
径向去除率分布 [nm/min]
选择需保存的图片。每张图独立保留坐标和色标；多张图片合并为ZIP文件。